全球領(lǐng)先的半導體制造晶圓處理、清洗和表面處理設(shè)備供應商FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），日前宣布收到來自重要半導體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION 單晶圓清洗技術(shù)平臺。該項后續(xù)訂單將為
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“這項訂單對我們尤其重要，因為它證明了FSI的ORION技術(shù)在制造中的應用。”FSI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道。“對于我們所推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術(shù)，該客戶已經(jīng)初步進行評估。他們在 ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現(xiàn)激勵下，決定擴大應用至當前大量生產(chǎn)線上。該項訂單使我們更加相信，即使在當前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術(shù)投資，因為這些技術(shù)提供了優(yōu)越的性能和顯著的經(jīng)濟效益。”?
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ORION系統(tǒng)特有的閉室設(shè)計，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進制造工藝中關(guān)鍵步驟上的清洗問題。關(guān)于FSI ORION系統(tǒng)的更多信息，請登陸FSI網(wǎng)站鏈接：http://www.fsi-intl.com/index.php/index.php/applications-and-products/orion-single-wafer-cleaning-cluster.?
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關(guān)于FSI：?
FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務的全球性的供應商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標。公司推出的支持服務項目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報。?
FSI國際有限公司全球網(wǎng)站：http://www.fsi-intl.com.?