作為少數被邀的幾家媒體代表之一,最近收到來自德州儀器公司的邀請函,有幸參加了RFAB—德州儀器旗下新開的在半導體工業首家300-mm模擬晶圓廠,并為全球首家通過LEED(LowEnergyElectronDiffraction,是美國民間綠色建筑認證獎項)認證的晶圓廠。
RFAB最初在2004年正式破土動工,并于2007年竣工。但是,該晶圓廠足足延遲閑置了兩年多,直至德州儀器遇到性價比非常高的收購—因為閃存芯片廠商QimondaAG宣布破產,整條300-mm設備產品線以非常低的折扣價率,只有1.725億美元,德州儀器便順利收購該產品線。
據PaulJamesFego,德州儀器技術與制造全球副總裁表示,如果沒有Qimonda設備收購案的話,RFAB到現在可能就只有一條200-mm產品線模擬晶圓廠。“我們擁有硬件設施建設,我們便擁有設備儀器的機會,”他說,“我們當時便已意識到,300-mm將會是未來的主宰。”
在2009年9月幾周內,德州儀器通告300-mm模擬產品晶圓廠將正常營業,當時,Qimonda的設備已經被運到德州的Richardson市,距德州儀器總部和Dallas晶圓廠集中地也就只有幾英里。TomWeichel,RFAB晶圓廠經理。(Weichel說,在RFAB辦公室的內部,甚至連家具或辦公設施都是來自于Qimonda)。
在上一年,RFAB已經實現全面生產。晶圓廠的所有設施,包括占地25萬平方英尺的凈化室,目前產能在350片晶圓每天,將在2011年底實現600到700片日均產能,據德州儀器發言人宣稱。
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