《電子技術(shù)應(yīng)用》
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集成硅光子的時代將來臨

2018-12-31
關(guān)鍵詞: 硅光子

  遠(yuǎn)距離通信和數(shù)據(jù)中心是光子元件的大買家,這使得技術(shù)快速發(fā)展,并打開了新的市場,提供了新的機(jī)遇。該行業(yè)要適應(yīng)滿足其要求并解決集成硅光子學(xué)設(shè)計、開發(fā)和制造中的瓶頸。

  Luxtera產(chǎn)品營銷總監(jiān)Brian Welch說:「你看云計算、搜索和社交網(wǎng)絡(luò)中用到的帶寬,它們都運行大數(shù)據(jù)中心,而且都消耗大量的帶寬,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過所有其它市場之和。下一個可以與之媲美的是無線電5G的推出。」

  但集成硅光子學(xué)不僅僅是帶寬了,它可以從根本上改變一些計算概念。行業(yè)剛看到這一可能。

  硅的重要性

  過去,光子器件是由專業(yè)晶圓廠制造的,通常基于磷化銦(InP)。Inphi的首席技術(shù)官Radha Nagarajan表示:「硅已經(jīng)可以使公司進(jìn)行更大尺寸(晶圓)制造。硅片使用8英寸或12英寸晶圓(200mm或300mm),而InP采用3英寸或最多4英寸晶圓(100mm)。兩者的制造規(guī)格不同。硅也使用制造工藝,如注入(implant)。這在硅光子學(xué)中很常用,但在InP并不常見,在InP中,通常通過蝕刻來形成某些結(jié)構(gòu),然后進(jìn)行鈍化。」

  Luxtera公司的Welch指出,除了成本低廉,硅光子技術(shù)的產(chǎn)量也非常高。他說:「如果使用CMOS代工,它們的產(chǎn)量是無可比擬的。過去,緩慢的生產(chǎn)推遲了光學(xué)方案的使用。」

  300mm的另一個優(yōu)勢是代工廠更有可能使用先進(jìn)的制造技術(shù)。Welch說:「雖然光學(xué)不需要很好的光刻技術(shù),但這并沒有壞處。與晶體管相比,這些結(jié)構(gòu)較大,而且大多光學(xué)結(jié)構(gòu)有無限的帶寬,所以它們不需要像縮小CMOS那樣縮小尺寸來提高速度。」

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  圖1:集成光子學(xué)。 來源:Luxtera

  事實上,對光學(xué)來講討論節(jié)點并沒有意義。Nagarajan指出:「光子的波長比電子的要大得多。這也是為什么電子產(chǎn)品可以進(jìn)入7nm節(jié)點,而標(biāo)準(zhǔn)硅光子器件是130nm或180nm節(jié)點,而且通常使用245nm光刻線。光學(xué)器件不同于電子器件,它們的相位較為敏感,側(cè)壁粗糙度和損耗很重要。當(dāng)這些成為重要因素時,重要的將不是節(jié)點,而是更大尺寸但更精準(zhǔn)的節(jié)點下,光刻和蝕刻的質(zhì)量。」

  你可能不想使用7nm節(jié)點,但7nm的開發(fā)商可能會使你動搖。Cadence的杰出工程師Gilles Lamant指出:「我們在減小小尺寸門的線粗糙度方面取得的所有進(jìn)展都是可行的。代工廠正在光子工藝的產(chǎn)量和控制方面進(jìn)行投資。你會發(fā)現(xiàn),當(dāng)你聽到GlobalFoundries說他們正在將其平臺轉(zhuǎn)向更大或更現(xiàn)代的晶圓廠時,這不僅意味著晶圓里更多的裸片,而且意味著他們的目標(biāo)是更先進(jìn)且能更好地進(jìn)行控制的設(shè)備。」

  現(xiàn)在的問題是光子不使用傳統(tǒng)的CMOS工藝,這限制了愿意制造(光子)器件的代工廠的數(shù)量。Welch說:「你想使用代工廠中中現(xiàn)有的所有工具,我們希望產(chǎn)生盡可能少的偏差。我們不想要一個特殊的生產(chǎn)鏈或特殊的工具,而希望我們的晶圓和先進(jìn)的CMOS走一樣的流程。這樣我們才可以獲取理想的成本和規(guī)模。這個技術(shù)有很多的工作要做,看起來簡單,但很具有挑戰(zhàn)性。」

  還有一些挑戰(zhàn)。Nagarajan提出了一個大的挑戰(zhàn):「你需要鍺作為探測器,純鍺的生長仍然是一個挑戰(zhàn)。」

  集成

  集成是數(shù)據(jù)中心的驅(qū)動程序。Welch說: 「集成非常重要,因為它可以降低成本。當(dāng)你優(yōu)化成本或功耗時,你需要集成更多。這樣就接近switch直到最終在臨界點里并達(dá)到最大密度。這對銅來說也是一樣的,過去它有分立的物理層,隨著時間的推移,它們在switch的支持下以更高的密度集成。光學(xué)領(lǐng)域也會是這樣。」

  在光子學(xué)中有兩種典型的集成方法,第一種使用混合die,它有CMOS裸片上的光子元件,所以CMOS晶體管和光子元件在同一襯底上。這是Luxtera采用的方法。然而,大多數(shù)人仍然在做多芯片設(shè)計,它有一個光子裸片和一個電子CMOS 裸片]。

  西門子公司Mentor定制IC設(shè)計組的產(chǎn)品營銷經(jīng)理Chris Cone說:「光子芯片的制造成本總體看來較低。它們是在較低的技術(shù)節(jié)點(如130nm或65nm)下產(chǎn)生的,光子芯片的尺寸通常更大,這意味著它們可以倒裝連接(flip-bonded),在其頂部連接一個CMOS芯片。在這個方面我們看到了很大的進(jìn)展。想象一下,CMOS芯片被倒裝在光子芯片的頂部,而且這個芯片有點大,可以將它用作插入器。然后你需要訪問CMOS芯片,這需要采用某種形式的硅通孔(through-silicon vias (TSV))來獲得電信號。

  還有一個大的問題是激光本身,EV集團(tuán)業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁Martin Eibelhuber說:「一個主要問題是有源光學(xué)元件的集成通常是基于化合物半導(dǎo)體的激光器。硅基器件無法滿足這些激光器的性能,所以需要異質(zhì)材料集成,這對標(biāo)準(zhǔn)CMOS設(shè)備來說并不常見。直接晶圓連接已被證明是結(jié)合不同材料的極佳方法,以低成本實現(xiàn)高質(zhì)量集成。由于幾何約束,全硅晶圓連接方法對于硅光子學(xué)不是最佳選擇,所以開發(fā)了利用等離子體激活的直接連接的集體芯片轉(zhuǎn)移工藝。」

  設(shè)計流程

  為了使技術(shù)更易于使用需要工具、工藝和流程都達(dá)到一定要求。Synopsys光學(xué)解決方案集團(tuán)(Optical Solution Group)研發(fā)部門主管Tom Walker說:「我們正在努力增加更多自動化的同時,使光子設(shè)計變得更加抽象。這兩個因素對于幫助更多設(shè)計師開發(fā)定制光子集成電路設(shè)計非常重要。」

  這一切都源于PDK。Nagarajan說:「Synopsys和Cadence都在增加這一領(lǐng)域的產(chǎn)品。Synopsys剛剛收購了此領(lǐng)域的一家公司(PhoeniX Software)。PDK需要實現(xiàn)自動化,與Mentor設(shè)計規(guī)則檢查(Design Rule Checking,DRC)工具,用于模擬/數(shù)字仿真的Cadence工具和Synopsys的等效工具結(jié)合使用。一整套光學(xué)工具需要移植到這些流程中,這正在慢慢地發(fā)生。」

  今年幾家代工廠宣布了PDK,然后,你可以在設(shè)計抽象化上更進(jìn)一步了。

  Walker解釋說:「設(shè)計過程分為不同的層次。每個層次都隱藏了底層的內(nèi)部工作,向設(shè)計師展示越來越抽象的功能。第一層對應(yīng)物理布局,這里,通過控制幾何形狀和材料屬性來創(chuàng)建定義組件和連接的結(jié)構(gòu)。上層是電路級別,通過將各個組件連接成電路來定義信號行為。」

  在模擬領(lǐng)域,抽象的下一層次通常稱為參數(shù)化單元或PCell。Nagarajan繼續(xù)說道:「如果你的設(shè)計主要采用基于PCell的標(biāo)準(zhǔn)代工廠,那么設(shè)計環(huán)境將適用于自動化。你可以購買一個IP核放入其中,如果你處于高端市場,那你正在設(shè)計一個往往是專家驅(qū)動的極具沖擊力的產(chǎn)品,盡管這些工具遠(yuǎn)不及普通的電子產(chǎn)品或IP核的復(fù)雜程度,但一些代工廠已經(jīng)開始提供PCell。」

  設(shè)計的另一面是驗證。Cadence的Lamant說:「當(dāng)你談?wù)搑ack從頂部到底部或card的從左到右時,能夠進(jìn)行全系統(tǒng)仿真開始變得非常有趣。你需要將AMS和光學(xué)模擬器結(jié)合在一起。如果沒有模擬,你只需要計劃穩(wěn)定,并投入足夠的中繼器中,但對于較短的距離,你想嘗試優(yōu)化它并盡量減少能量損耗。」

  光學(xué)元件的集成也產(chǎn)生了一些有趣的新挑戰(zhàn)。Lamant補充道:「光線有反彈的趨勢,所以有前向傳播的光,但會有一定數(shù)量的光線反彈回來,而且你需要建模。這是混合光學(xué)模擬器真正有幫助的地方。如果你有通過數(shù)學(xué)模型傳播信號的方法,如Verilog-A,向后傳播需要很多額外的方程。」

  電子和光子學(xué)聚在一起的時候出現(xiàn)了另一系列問題。Mentor公司的Cone說:「當(dāng)你驅(qū)動一個光子接口時,你遇到了很多關(guān)于噪聲和大量熱量的問題,這必須考慮在內(nèi)。沒有東西可以提供這種能力,這一切都?xì)w結(jié)為接口,它速度非常快,以每秒幾十千兆位的速度運行,開關(guān)驅(qū)動調(diào)制器上的結(jié)點或移相器,并產(chǎn)生一個你必須考慮的EMI簽名。同樣,從光電探測器出發(fā),你需要一個非常敏感的輸入進(jìn)入跨阻放大器。你必須屏蔽來自電路其它部分的噪聲。」

  這種電氣活動及其產(chǎn)生的熱量可能會給光學(xué)器件帶來困難。Lamant指出:「只需將溫度改變1°C,你就可以看到光線相位的巨大變化。有一些很好的方法可以調(diào)整光路,雖然這可能是一個優(yōu)勢,但我周圍所有電子設(shè)備的變化速度都很快地超過1°C。所以這是一個非常敏感的調(diào)整機(jī)制,也是一個大問題。這是一個投資和研究的領(lǐng)域,我們需要以動態(tài)的方式更好地理解熱效應(yīng)。對于電子產(chǎn)品來說,它通常被視為二階效應(yīng),但對于光學(xué)來說,散熱是一階效應(yīng)。如果你從代工廠的PDK中看元件,會看到許多熱調(diào)整組件。所以它不是到驗證階段才可以離開的東西,這是一個一級效應(yīng)。」

  Lamant解釋說光子電路需要達(dá)到熱平衡:「當(dāng)你想要零點和光子學(xué)中的零點時,你要么嘗試調(diào)整相位,要么使它們錯位來產(chǎn)生建設(shè)性或破壞性干擾。通過加熱一些東西來調(diào)整受影響的相位偏移,從而向前或向后移動物體。」

  EDA正在應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。然而,Cone有一個警告:「光子學(xué)和電子學(xué)很不一樣,我們需要為他們提供解決方案以滿足他們的需求,而不是試圖使光子學(xué)那一部分遵守嚴(yán)格的EDA設(shè)計規(guī)則,這樣做是不對的。」

  光子學(xué)未來可期

  盡管光子學(xué)永遠(yuǎn)不會像電子學(xué)和摩爾定律那樣走上正軌,但光子行業(yè)剛剛開始使光子電路的可能性提高。Lamant指出了MIT的一個有趣的發(fā)展:「Light Matter有一個用于機(jī)器學(xué)習(xí)中應(yīng)用矩陣系數(shù)的光子學(xué)乘法器。光子電路本身非常簡單,但執(zhí)行的功能非常復(fù)雜。」

  矩陣乘法是機(jī)器學(xué)習(xí)中性能的限制,會消耗大量的功率。對于光學(xué)等效物,它可以在消耗功率很小的情況下很快地運行。

  Lamant提醒道:「可能會發(fā)現(xiàn)其它的應(yīng)用。一個重要的考慮因素是數(shù)據(jù)必須轉(zhuǎn)換成適合光學(xué)元件的形式,這需要能量。因此,一個一個需要權(quán)衡的情況是,將電子信息轉(zhuǎn)換為光使其可以在光學(xué)加速器內(nèi)消耗和處理是否值得。或者將其用作電子產(chǎn)品并付出更高的成本是否更好?這是一個系統(tǒng)級的折衷。」

  Cone提出另一個有趣的研究線。「看看HPE實驗室和機(jī)器,這是一種內(nèi)存驅(qū)動計算的形式,它們提供了基于光子學(xué)的計算的未來愿景。」

  這種發(fā)展假設(shè)在硅光子學(xué)中,你有大量節(jié)點通過單個光纖連接,并且它們幾乎是瞬間互相對話。Cone表示:「這改變了我們對給予電氣連接的系統(tǒng)級芯片架構(gòu)的了解。我們看到公司意識到他們不再需要使用所有架構(gòu)都是模塊化的,并且通過一些接口進(jìn)行對話的傳統(tǒng)架構(gòu)。現(xiàn)在一切都可以在同一時間進(jìn)行對話。我們幾乎不能在表面捕捉到看到這種轉(zhuǎn)變,并將其推動至產(chǎn)品的電氣方面。」

  集成硅光子技術(shù)的領(lǐng)域越來越密切,必要的工具和流程正在進(jìn)入正軌。很快,該行業(yè)將得到最新穎的方式來利用它。


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