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光刻機研發:哈工大在國家急需時刻從不缺席

2021-01-28
來源:半導體圈+
關鍵詞: 光刻機 哈工大

  哈工大在國家急需時刻從不缺席,現在國家急需光刻機。哈工大的DPP-EUV光源出來,真的是史詩級成果,一流大學就應該有世界頂尖水平,這是哈工大在超精密加工,超精密測量領域幾十年積累的結果!

  中科院長春光機所在光刻機所需的透鏡及曝光系統上早已有突破,而最新的消息也顯示,長春光機所在實驗室已經搭建出了一套EUV光源設備。

  而長春光機所正基于哈工大DPP-EUV光源研制EUV曝光機,預計兩年內可推出。光刻機的兩大核心部件為雙工件臺和曝光系統。

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  EUV光刻的全稱為極紫外光刻(Extreme Ultra-violet),其光源主要有2種:

  1、一種是DPP-EUV極紫外光源。放電激發等離子體EUV極紫外光源

  荷蘭ASML光刻機公司,哈工大研究的都是這一種。

  DPP EUV光源利用放電使負載(Xe或Sn)形成等離子體,輻射出紫外線,利用多層膜反射鏡多次反射凈化能譜,獲得1EUV光。

  DPP EUV光源的優點是產生EUV的能量轉換效率高,造價低;缺點是電極熱負載高,產生碎片多,機制復雜,光學器件易于受損,光收集角小。

  2、激光等離子體光源(LPP)

  LPP EUV系統主要包括激光器、匯聚透鏡、負載、光收集器、掩膜、投影光學系統和芯片。

  其原理是利用高功率激光加熱負載(Xe或Sn)形成等離子體,等離子體輻射出紫外線,利用多層膜反射鏡多次反射凈化能譜,獲得1EUV光。

  LPP EUV光源的優點是光源尺寸小,產生碎片或粒子的種類少,光收集效率高以及較容易放大EUV輸出功率。當然它也有缺點,主要是系統設計復雜,價格昂貴。

  這2種光源。哈工大都在15年前就研究了!

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  中國研究EUV極紫外光源的2個主要單位:

  1、哈工大氣體可調諧激光技術國家級重點實驗室 。

  2、中國科學院上海光機所(哈工大畢業的研究員負責的項目、副所長。神光2的負責人之一)。

  哈工大取的重大突破的是:

  放電激發等離子體EUV極紫外光源。與荷蘭ASML光刻機公司的是同一種EUV極紫外光源。但是要把它做成為光刻機,還需要2年時間!

  荷蘭光刻機,目前極紫外光源是美國產,還有一些主要部件是德國等國生產,清洗部件是藍英裝備生產。如果3-5納米光刻機兩年內國產,則華為有救!哈工大功勞舉世無雙!

  下面這個全球領先的成果。也來自哈工大這個實驗室。

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  哈工大在祖國需要的時候能沖上去,這就是軍工大學的擔當!

  其實

  中國在1977年就成功研究了光刻機。

  那個時候,還沒有荷蘭ASML光刻機公司這個公司。

  可惜中國80年代,都是造不如買去了。

  以前日本人走的是激光等離子體光源。

  荷蘭ASML光刻機公司走的是氣體放電激發等離子體EUV極紫外光源

  (哈工大氣體可調諧激光技術國家級重點實驗室 研究的東西與他們一樣)。

  荷蘭人成功了。

 


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