據《日經新聞》早前的報道，臺積電之所以能在先進工藝方面擊敗三星，主要是因為他們搶在三星之前搶占了ASML 70％的設備。由于ASML是世界上唯一能夠提供這種工業規模的EUV設備的公司，因此相對臺積電，三星失去了很多基礎優勢，臺積電無疑將利用這一優勢進一步擴大其與競爭對手之間的技術差距。這也是為何三星領導人之前頻頻造訪荷蘭光刻機巨頭的原因。

　　而從日經的報道可以看到，ASML迄今為止大約出貨了100臺EUV光刻機。

　　ASML將赴韓國建廠，三星迎來新契機？

　　據報導，南韓產業通商資源部（MOTIE）宣布，荷蘭半導體設備巨頭ASML計劃在未來4年內，于南韓投資2,400億韓元（約2.1億美元），建造極紫外光（EUV）再制廠和培訓中心園區。

　　報導指出，ASML計劃在未來4年之內，在南韓京畿道華城市建造一個EUV設備園區，其中包括一個再制工廠和一個培訓中心。新的廠區預期將在2025年完工，并計劃在南韓當地聘雇300名專業人員。

　　ASML是全球唯一的極紫外光（EUV）設備生產商，主要被用于半導體生產，該公司的光刻設備每臺價格超過1億美元，被三星、英特爾、臺積電等半導體制造商用來協助制造芯片，是生產制造必不可少的設備，但年產量卻在30至40臺之間。

　　報導指出，ASML位在南韓的再制廠，將用來升級已經在南韓國當地運作的EUV設備。預計用于培訓設備操作工程師的訓練中心，也將為南韓國內半導體公司帶來福音。此外，ASML與南韓客戶之間的業務關系也有望得到加強。

　　ASML在第一季出貨9臺極紫外光（EUV）機臺，但僅先確認7臺的營收，總計11億歐元。公司預計，今年EUV機器的總銷量將比2020年成長30%。

　　針對這個決定，其實外面有很多討論，但ASML方面向《中國電子報》記者表示，韓國客戶存在相應需求，因此ASML選擇就近建廠為其提供服務。ASML方面表示，對于這一點，外界其實無需過度解讀。