近日,光刻機制造企業ASML公布了2021年第二季度財報。財報顯示,ASML凈銷售額為40億歐元,毛利率為50.9%,凈收入10億歐元。
根據ASML的的財報透露,當前第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機系統已經交付,不過并沒有透露客戶的具體名字。此次全新的光刻機相比NXE:3400C生產力提高了15-20%,覆蓋率提高了約30%。
值得注意的是,ASML第二季度的預訂額為83億歐元,其中EUV極紫外光刻機就有49億歐元,而總的積壓訂單金額已達175億歐元,這足以證明當下光刻機的生產仍有預訂壓力。ASML表示,正努力增加EUV光刻機在存儲行業的量產應用,計劃協助三個DRAM內存芯片客戶在未來的工藝節點中導入EUV。預計ASML在第三季度的凈銷售額52-54億歐元,毛利率51-53%。
據悉,目前ASML的EUV光刻機仍屬于第一代產品,最早一代產品是NXE:3400B,其晶圓產能只有125PWH。而當前的助力產品為NXE:3400C,晶圓產能產能提升到135WPH,最新的NXE:3600D光刻機其產能進一步增加,提升至160WPH,其價格有可能達到1.45億美元。此外,ASML也將在未來幾年推出第二代EUV光刻機,或將是NXE:5000系列,物鏡NA提升到0.55,進一步提高光刻精度,價格可能來到3億美元,原計劃將于2023年推出,目前推遲至2025-2026年。
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