我們知道，MEMS（Micro-Electro-Mechanical System微機電系統(tǒng)）是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件，是一個集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

　　MEMS加工技術帶動了傳感器向微型化發(fā)展，盡管MEMS技術能夠將工藝精度控制在很小的范圍內，但還是很難精確地控制擴散硅的摻雜濃度，這就直接導致了MEMS傳感器零位溫度漂移和靈敏度溫度漂移的存在。工作溫度范圍變化通過兩種方法影響傳感器：其一是造成零點漂移，其二是影響整個量程的輸出。當MEMS傳感器工作溫度的范圍不斷增大時，為減少由于溫度的變化產生的漂移現(xiàn)象，就需要對MEMS傳感器進行溫度補償。不過，溫度范圍越寬，補償技術難度越大，校準工作量也越大，所能保證全溫度范圍的精度也越難。

　　智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器

　　為解決溫度范圍和傳感器精度之間的矛盾，北京智芯傳感科技有限公司（簡稱：智芯傳感）通過多年的研發(fā)和實踐，推出了ZXP6系列高精度寬溫域差壓氣體壓力傳感器。該壓力傳感器的核心是MEMS壓力傳感器和專用調理芯片，采用了當前先進的壓力傳感器技術和高集成、低功耗、高精度的數(shù)字信號處理技術，提供了完整的壓力校準和溫度補償，獲得放大的模擬輸出信號，可實現(xiàn)全溫區(qū)范圍內最大誤差率僅為1%。

　　智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器適用領域也非常廣泛，目前已在醫(yī)療、工業(yè)和消費電子等多個領域進行產品應用并收獲市場高度認可及客戶廣泛好評。其中，在醫(yī)療應用方面，ZXP6差壓氣體壓力傳感器憑借優(yōu)秀的性能參數(shù)表現(xiàn)及產品特性，成為呼吸機氣路系統(tǒng)的關鍵部件。在呼吸機工作過程中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器生成的信號，能夠幫助微處理器調節(jié)電機，從而調整或維持病人吸氣和呼氣所需的氣壓，時刻監(jiān)測病人的呼吸信號來控制呼吸器的動作，使之與人體呼吸同步。而在另一款“救命神器”制氧機的使用中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器可對制氧機中吸附塔壓力進行精準測量，進而為制氧機供氧調節(jié)提供重要數(shù)據(jù)支持，確保充足供氧，同時，可對患者是否有開始吸氣進行監(jiān)測，以避免不吸氣時氧氣的浪費。此外，ZXP6差壓氣體壓力傳感器還在生物安全柜、肺量計、呼吸功能檢測儀器等多個醫(yī)療器械中適用并發(fā)揮重要作用。

　　智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器性能優(yōu)良，可供量程-500-500kPa差壓和表壓的氣體測量，工作溫度范圍達到了40~125℃。另外，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器有貼片和插針式兩種安裝方式，采用先進的 MEMS微加工工藝設計制作，通過高可靠性封裝技術，產品的精度和穩(wěn)定性可以達到±1%FS。

　　智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器，實現(xiàn)了寬溫域高精度監(jiān)測，憑借先進的產品性能在醫(yī)療、工業(yè)、消費電子等多個應用中發(fā)揮重要作用。相信在越來越多的市場檢驗中，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器一定能夠進一步為客戶提供安全可靠、質量穩(wěn)定、體驗卓越、價格合理的產品服務，進而創(chuàng)造更高的產品價值。

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