在半導體設備中,光刻機是核心設備,決定了工藝的先進程度,EUV是當前最先進的光刻機,可以制造7nm以下的工藝,全球僅有荷蘭ASML公司能夠生產,單價將近10億元,下一代EUV甚至超過25億元。
研發EUV光刻機到底有多難?全球還有別的公司可以制造出來嗎?對于這樣的疑問,ASML公司日前在財報會議上談到了EUV的難點。
ASML表示,就ASML而言,它由數百個供應商組成,每個供應商在什么方面都是世界級的。
只要提到通快、蔡司和VDSL的名字,他們的工作就是世界級的,這只是上百家供應商中的三個。
研發光刻機需要的不止是專利,它的訣竅是人,是大腦,ASML表示這些花了40年的時間。
物理學規律在全球都是一樣的,但是ASML做到這一步有著數百家公司積累的專業知識,他們作為系統集成商做出了光刻機。
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