7 月 1 日消息，據(jù)臺媒《工商時報》報道，臺積電將在 2024~2025 年接收超 60 臺 EUV 光刻機，而其今明兩年在 EUV 光刻機上的投入將超 4000 億新臺幣（當前約 896.61 億元人民幣）。

報道表示，ASML 的 EUV 光刻機目前供應緊張，從下單到交付的整體周期已達 16~20 個月。

臺積電今明兩年將分別下達約 30 和 35 臺的 EUV 光刻機訂單，這些訂單中的大部分將從 2026 年開始交付。

臺媒援引供應鏈消息指出，ASML 對 2025 年產(chǎn)能的規(guī)劃是 20 臺 High-NA EUV 光刻機、90 臺 EUV 光刻機和 600 臺 DUV 光刻機。

▲ ASML 目前最先進的 0.33NA EUV 光刻機 NXE:3800E

根據(jù)臺積電官方路線圖，其目前已規(guī)劃的最先進工藝 16A 將于 2026 年量產(chǎn)，仍采用傳統(tǒng) 0.33NA EUV 光刻機。換句話說，臺積電暫未考慮在量產(chǎn)制程中導入 High-NA。

雖然 ASML 方面已確認將在 2024 年內向臺積電交付 High-NA EUV 光刻機，但這一機臺僅用于制程開發(fā)目的。

臺媒也表示，臺積電暫無在 2025~2026 年引入量產(chǎn)用 High-NA EUV 光刻機的規(guī)劃。