3月24日消息,據報道,九峰山實驗室科研團隊近日取得重大突破,成功在全球范圍內首次實現(xiàn)了8英寸硅基氮極性氮化鎵(N-polar GaNOI)高電子遷移率材料的制備。
這一里程碑式的成果不僅打破了國際技術壟斷,更為射頻前端等系統(tǒng)級芯片在頻率、效率、集成度等方面的提升提供了強有力的技術支持,將推動下一代通信、自動駕駛、雷達探測、微波能量傳輸?shù)惹把丶夹g的快速發(fā)展。
氮化鎵晶體結構的極性方向對器件性能和應用具有決定性影響,主要分為氮極性氮化鎵和鎵極性氮化鎵兩種極化類型。
研究表明,在高頻、高功率器件領域,氮極性氮化鎵相較于傳統(tǒng)的鎵極性氮化鎵展現(xiàn)出顯著的技術優(yōu)勢。然而,由于材料生長條件嚴苛、工藝復雜等瓶頸,目前全球僅有少數(shù)機構能夠小批量生產2-4英寸氮極性氮化鎵高電子遷移率襯底材料,且成本高昂,限制了其大規(guī)模應用。
九峰山實驗室的突破性成果主要體現(xiàn)在以下幾個方面:首先,通過采用硅基襯底,該技術兼容8英寸主流半導體產線設備,并深度集成硅基CMOS工藝,顯著降低了生產成本,同時為大規(guī)模量產提供了便利條件;其次,材料性能得到顯著提升,兼具高電子遷移率和優(yōu)異的可靠性;最后,鍵合界面良率超過99%,為大規(guī)模產業(yè)化奠定了堅實基礎。
氮極性氮化鎵材料在高頻段(如毫米波頻段)表現(xiàn)出色,特別適用于5G/6G通信、衛(wèi)星通信、雷達系統(tǒng)等高頻操作領域。隨著這一技術的成熟和推廣,未來有望在多個高科技領域實現(xiàn)廣泛應用,推動相關產業(yè)的升級與革新。
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