據臺灣《經濟日報》消息，臺積電3nm工廠通過臺灣環保署的環境評測環評大會。依據原定時程，全球第一座3nm廠有望在2020年動工，最快2022年底實現量產。

目前臺積電的7nm工藝已經量產，臺積電計劃2019年投產改進版本，將首次使用EUV極紫外光刻技術。此外，5nm工藝 將在2019年第一季度投入風險性試產，量產時間未定，估計也就在2019年年內。

臺積電表示，5nm會在臺灣南部科技園(STSP)的工廠里投產，但后續產能擴充仍要視環境評估而定。

而對于3nm工藝，但工廠的選址一直懸而未決。

自從2016年臺積電宣佈將發展3nm制程后，已經投入了數百名工程師。不過，對于3nm工廠的選址問題，臺積電便一直在評估，甚至將美國納入考慮。隨后在臺灣政府承諾解決水電等相關問題后，也考量到對臺灣經濟的重要性，臺積電最后終于宣布將新廠將落腳在臺灣的南部科學工業園區臺南園區。

臺積電對3nm量產時程一直保密，除了防止對手三星加快投資腳步，也是因為環評案未過關，避免橫生波折，如今隨著3nm環評案通過，讓臺積電可以順利興建晶圓18廠第四到六期新廠。