《電子技術(shù)應(yīng)用》
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國產(chǎn)28nm光刻機(jī)將于明年交付,大幅縮短與國外的差距

2020-12-03
來源:柏銘007

據(jù)媒體報道指出上海微電子將在明年向國內(nèi)芯片制造企業(yè)交付28nm光刻機(jī),這代表著國產(chǎn)光刻機(jī)最先進(jìn)的技術(shù)水平,國產(chǎn)光刻機(jī)在大幅縮短與海外的技術(shù)差距。

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由于華為的遭遇,國人對于芯片制造產(chǎn)業(yè)高度關(guān)注,要擺脫對國外技術(shù)的依賴就需要研發(fā)自己的芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈,而光刻機(jī)無疑是其中的關(guān)鍵設(shè)備。

此前國內(nèi)的芯片制造廠幾乎全數(shù)進(jìn)口外國光刻機(jī),但是從華為遭遇這次事件之后,國產(chǎn)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈迅速聚集力量,培育起國產(chǎn)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈,借此真正實現(xiàn)獨立自主。

由于國內(nèi)對芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈的重視不足,據(jù)悉在2019年之前國產(chǎn)光刻機(jī)的最先進(jìn)工藝水平在90nm左右,由于國產(chǎn)光刻機(jī)的技術(shù)較為落后,國產(chǎn)芯片制造廠不愿采用,國產(chǎn)光刻機(jī)企業(yè)也就沒有資金進(jìn)行研發(fā),導(dǎo)致國產(chǎn)光刻機(jī)的技術(shù)水平與外國的差距越來越大。

從去年起,國內(nèi)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈獲得了巨大的支持,光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)入快速發(fā)展階段,北京、上海、武漢等地的光刻機(jī)企業(yè)和相關(guān)研發(fā)機(jī)構(gòu)紛紛表示加大研發(fā)力度。

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上海微電子似乎已成為其中的領(lǐng)先者,它將率先向芯片制造企業(yè)交付28nm的光刻機(jī),在兩年時間內(nèi)就研發(fā)出先進(jìn)的技術(shù)并將之變成可以使用的設(shè)備,這顯示出它的技術(shù)研發(fā)能力與生產(chǎn)結(jié)合得相當(dāng)好。

其實在上海微電子之前,也有其他研發(fā)機(jī)構(gòu)表示它們已研發(fā)出更先進(jìn)的光刻機(jī)技術(shù),然而光有技術(shù)而不能將之變成實際的設(shè)備,對國內(nèi)的芯片制造產(chǎn)業(yè)支持較為有限,而在技術(shù)到產(chǎn)品之間還需要考慮許多的因素和時間。

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光刻機(jī)的生產(chǎn)除了生產(chǎn)廠商自己對核心技術(shù)的研發(fā)之外,也需要配套企業(yè)進(jìn)行相關(guān)的技術(shù)研發(fā),這是一整條產(chǎn)業(yè)鏈共同努力的成果,畢竟此前國內(nèi)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)相比海外落后太多,這也凸顯出光刻機(jī)設(shè)備生產(chǎn)廠家與研發(fā)機(jī)構(gòu)的巨大差異。

上海微電子用兩年多時時間研發(fā)出28nm光刻機(jī)已屬于一個巨大的技術(shù)進(jìn)步,對此我們應(yīng)該敬佩上海微電子為國內(nèi)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈作出的貢獻(xiàn),同時也應(yīng)該由此清醒看到國內(nèi)光刻機(jī)技術(shù)與海外的差距,需要腳踏實地加快追趕速度,但又應(yīng)該考慮到國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的現(xiàn)實。

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或許也是看到中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的迅速進(jìn)步,近期全球光刻機(jī)行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者ASML表示將大規(guī)模向中國芯片制造企業(yè)供應(yīng)DUV光刻機(jī),這似乎頗為巧合。

海外技術(shù)先進(jìn)企業(yè)的如此做法其實在液晶面板產(chǎn)業(yè)也曾出現(xiàn)過,在21世紀(jì)初期,日韓企業(yè)一直都表示有意在中國投資建設(shè)先進(jìn)的液晶面板生產(chǎn)線,然而遲遲不見行動,到了2009年京東方和華星光電宣布籌建與當(dāng)時海外先進(jìn)技術(shù)水平相當(dāng)?shù)?.5代線,夏普、三星等紛紛在中國建設(shè)先進(jìn)的液晶面板生產(chǎn)線,這證明了只有我們解決有無問題,國外企業(yè)才會真正重視。


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