受福島地震影響,由于KrF光刻膠產能受限以及全球晶圓廠積極擴產等原因,日本信越化學已經向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,甚至已通知部分中小晶圓廠停止供貨KrF光刻膠,國內多家晶圓廠將會面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。
光刻膠是IC制造的核心耗材,其質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素,屬于高技術壁壘材料,需要長期的技術積累,約占IC制造材料總成本的5%。
據了解光刻膠市場基本被國外巨頭壟斷。日本合成橡膠、東京應化、信越化學等五大光刻膠廠商占據全球約87%的市場份額,尤其是在高端的半導體光刻膠市場中國更是僅占極少的份額。截至目前,國內能夠批量供應KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數不多。根據SEMI數據,日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%,而國內g線/i線自給率約為20%,KrF光刻膠的自給率不足5%,12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內企業可以大規模生產。
雖然此次部分斷供勢必對國產晶圓代工廠商會產生一定的影響,不過隨著國產替代已成為業內共識,我們認為伴隨KrF光刻膠、ArF光刻膠研發完畢順利完成客戶驗證后,國產光刻膠將真正進入國產替代的高峰期。
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