《電子技術(shù)應(yīng)用》
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我國首獲納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu):沒有EUV光刻機,一樣量產(chǎn)7nm芯片

2022-09-17
來源:21ic

為了遏制中國科技發(fā)展,近年來美國越來越多地動用國家力量,通過各種“惡意限制”手段來維護其技術(shù)霸權(quán)的地位。比如,多次收緊半導(dǎo)體設(shè)備出口中國、頻繁擴大技術(shù)出口管制清單,以及禁止ASML向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機,甚至還將魔抓伸向了華裔科學(xué)家。

然而,面對這些“卡脖子”技術(shù)問題,中國不僅沒有選擇屈服,反而走出了一條自己獨特的發(fā)展之路。這不,剛剛國內(nèi)自主芯片產(chǎn)業(yè)就傳來一個好消息:9月14日晚間,國際頂級學(xué)術(shù)期刊《自然》發(fā)表了一項最新研究,中國科學(xué)家首次得到了納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu),在下一代光電芯片制造領(lǐng)域取得了重大突破。

據(jù)悉,南京大學(xué)張勇、肖敏、祝世寧領(lǐng)銜的科研團隊,發(fā)明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術(shù),將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內(nèi)部,通過控制激光移動的方向,在晶體內(nèi)部形成有效電場,實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直寫和擦除。

這一技術(shù)的難度在于,它突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸,從傳統(tǒng)的1μm量級(相當于頭發(fā)絲的五十分之一)首次縮小到納米級,達到30nm,從而大大提高了加工精度。

該研究指出,這一重大發(fā)明未來或可開辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調(diào)制器、聲學(xué)濾波器、非易失鐵電存儲器等關(guān)鍵光電器件芯片制備,在5G/6G通訊、光計算、人工智能等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。

我們都知道,芯片作為當代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的結(jié)晶,在軍事、民用等各大領(lǐng)域均發(fā)揮著不可替代的重要作用。然而,隨著集成電路的不斷發(fā)展,傳統(tǒng)的電子集成電路在帶寬與能耗等方面逐漸逼近極限,再加上DUV/EUV光刻機的出貨受到限制。因此,光電芯片作為全球半導(dǎo)體行業(yè)的一個重要細分賽道,則被業(yè)內(nèi)認為是“最有希望的繼任者”。

簡單來說,光電芯片是一種高度集成的元器件,其所集成的元件包括激光器、調(diào)制器、耦合器、分束器、波分復(fù)用器、探測器等,主要用來完成光電信號轉(zhuǎn)換的。

從原理上看,電子集成芯片采用電流信號來作為信息的載體,而光電芯片則采用頻率更高的光波來作為信息載體。相較于電子集成電路或電互聯(lián)技術(shù),光子集成電路與光互連展現(xiàn)出了更低的傳輸損耗、更寬的傳輸帶寬、更小的時間延遲,以及更強的抗電磁干擾能力。

此外,光互聯(lián)還能通過使用多種復(fù)用方式(例如波分復(fù)用WDM、模分互用MDM等)來提高傳輸媒質(zhì)內(nèi)的通信容量。因此,建立在集成光路基礎(chǔ)上的片上光互聯(lián)被認為是一種極具潛力的技術(shù),而光電芯片則可用以克服電子傳輸所帶來的瓶頸問題。

據(jù)悉,為了打破美芯的限制,華為早已將目光放在了光電芯片上,前兩年不僅斥資10億英鎊在英國劍橋園區(qū)建設(shè)了光電研發(fā)中心,還招攬了大批國外頂尖人才為其研發(fā)光電芯片。

此前,華為創(chuàng)始人任正非就曾表示,光電芯片是完全可以繞開美國技術(shù)封鎖的。換句話說,由于光電芯片的制造工藝不同于硅芯片,即使沒有EUV光刻機,只要我們能夠掌握這一技術(shù),一樣可以量產(chǎn)7nm及以下的芯片!

▲資料圖

除了光電芯片領(lǐng)域,我國科學(xué)家在量子模擬前沿領(lǐng)域也有了新的突破。

根據(jù)《自然》當天發(fā)表的另一項研究顯示,南京大學(xué)繆峰合作團隊通過在“原子世界搭積木”的方式,把兩個石墨烯雙原子層,以旋轉(zhuǎn)180°+0.75°的特殊角度疊加,并施加一個垂直電場,研制出了一種全新的量子材料。同時,通過改變垂直電場,在國際物理學(xué)界首次觀測到了量子融化的“中間態(tài)”,并揭示了這一量子“中間態(tài)”的演化機制。

據(jù)悉,這一重大理論機制的創(chuàng)新成果,未來有望用于開發(fā)高密度集成、高度可調(diào)和易于讀取的固體量子模擬器。例如通過模擬生物神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)等復(fù)雜體系的演化,用于類腦人工智能技術(shù)開發(fā)和新藥研發(fā)等。

雖然中國面臨著很多“卡脖子”技術(shù)問題,但目前已有不少行業(yè)通過各項舉措推動技術(shù)突破,正在逐步彌補各個需要“補短板”、“鍛長板”、“填空白”的關(guān)鍵細分領(lǐng)域。

相信在不久的將來,我國在集成電路、生物醫(yī)藥、人工智能等重點領(lǐng)域和關(guān)鍵環(huán)節(jié)都將出現(xiàn)各種突破——中國將會在各個關(guān)鍵核心技術(shù)上有自己的“話語權(quán)”!



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