針對高反射率(R>99.7%)的光學樣品,德國 IPHT Jena研發了光腔衰蕩光譜法(Cavity Ring-Down Spectroscopy,CRDS)CRD高反射率測量儀, 它通過對指數型腔內衰蕩信號的檢測,去掉了傳統檢測方法中激光能量起伏所引起的誤差, 大大提高了測量精度。
CRD 高反射率測量儀原理
當一束脈沖激光沿著光軸入射到光腔內,忽略衍射及散射損耗,單色脈沖光在兩個腔鏡之間往返振蕩,每經過一次循環透射出部分光,探測器通過接收光脈沖信號得到其以單指數形式衰減。
τ為衰蕩時間,指光子出射脈沖光強衰減為初始光強的1/e時經歷的時間。C代表光速,L是代表腔長,RM是兩個腔鏡的幾何平均反射率,散射V和吸收系數α忽略不計。則,衰蕩時間τ表示為:
從公式上可知,腔內損耗越小,反射率越高,衰蕩時間越長。
要計算待測樣品的反射率R,需要知道參考片的反射率Rref (詳見參考片說明部分),則
CRD系統介紹
系統包含:
1. 激光光源
2. 光學零部件
3. A/D轉換器
4. 探測系統
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