《電子技術(shù)應(yīng)用》
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三星16層及以上HBM需采用混合鍵合技術(shù)

內(nèi)存堆疊高度受限
2024-06-12
來源:芯智訊

6月11日消息,據(jù)韓國媒體Thelec報道,三星上個月在2024年IEEE上發(fā)表的一篇題為《用于HBM堆疊的D2W(芯粒到芯片)銅鍵合技術(shù)研究》的論文,提到16層及以上的高帶寬內(nèi)存(HBM)必須采用混合鍵合技術(shù)(Hybrid bonding)。

據(jù)了解,混合鍵合是下一代封裝技術(shù),目的是芯片透過硅穿孔(TSV)或微型銅線進行垂直堆疊時,中間沒有凸點。韓媒The Elec指出,由于是直接堆疊,所以混合鍵合也稱為“直接鍵合”。

與目前三星所使用的熱壓焊接(TC)相比,Hybrid bonding可焊接更多芯片堆疊,維持更低的堆疊高度并提高熱排放效率。三星指出,降低高度是采用混合鍵合的主因,內(nèi)存高度限制在775微米內(nèi),在這高度中須封裝17個芯片(即一個基底芯片和16個核心芯片),因此縮小芯片間的間隙,是內(nèi)存大廠必須克服的問題。

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最開始DRAM大廠計劃盡可能減少核心芯片的厚度,或者減少凸點間距,但除混合鍵合外,這兩種方法都已達極限。知情人士透露,很難將核心芯片做得比30微米更薄。由于凸點具有體積,通過凸塊連接芯片會有一定局限性。

三星4月使用子公司Semes的混合鍵合設(shè)備制作了16層的HBM樣品,并表示芯片運作正常。目前貝思半導(dǎo)體(BESI)和韓華精密機械(Hanwha Precision Machinery)也在開發(fā)混合鍵合設(shè)備。傳聞三星計劃在2025年制造出16層堆疊的HBM4樣品,并于2026年量產(chǎn)。


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