| 基于體硅MEMS工藝的射頻微系統沖擊特性仿真研究* | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：wwei | |
| 文檔大小：4394 K | |
| 標簽： 體硅MEMS 射頻微系統 沖擊 | |
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| 文檔介紹：高過載沖擊試驗成本高、周期長，同時失效檢測手段較少，難以定位結構薄弱點。針對體硅工藝MEMS（Micro-electromechanical System）射頻微系統，采用沖擊響應譜與瞬態動力學方法，研究板級與試驗條件下的高沖擊載荷響應。仿真結果表明，該射頻微系統能夠承受高沖擊過載，仿真結果可提前預判結構失效點，提高產品抗沖擊可靠性。 | |
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